光學微電子潔凈工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流散布、噪音震動及照明、靜電操控在某一需求范圍內，而所給于特別規劃之密閉空間。

　　光學微電子凈化工程亦名無塵室或潔凈室，現在已是半導體、精密制作、液晶制作、光學制作、線路板制作和生物化學、醫藥、食物制作等職業不可或缺的重要設備，近幾年來，由于技術之創新開展，關于產品的高精密度化、細小型化之需求更為火急。　

  　光學微電子凈化工程一般包含：

　　1、 潔凈生產區

　　2、 潔凈輔佐間(包含人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

　　3、 辦理區(包含工作、值班、辦理和休息等)

　　4、 設備區(包含凈化空調體系應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)

　　光學微電子凈化工程凈化原理

　　氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

　　等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上進程，即可到達凈化意圖。

　　光學微電子凈化工程凈化參數

　　換氣次數：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

　　均勻風速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬天>16℃;夏季 <26℃;動搖±2℃。

　　溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免發生靜電。

　　噪聲≤65dB(A);新風彌補量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

　　光學微電子凈化工程結構資料

　　1. 凈化廠房墻、頂板材一般多選用50mm厚的夾芯彩鋼板制作，其特色為漂亮、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般選用專用氧化鋁型材制作。

　　2.地上可選用環氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

　　3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫作用好的阻燃型PF發泡塑膠板。

　　4.高效送風口用不銹鋼結構，漂亮清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

　　光學微電子凈化工程解決計劃:

　　凈化工程的規劃進程中，應加強對光學微電子職業凈化工程規劃計劃剖析了解,依據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其詳細的生產工藝、生產流程等要求確定其需求的潔凈度、溫濕度。再依據該工程的詳細情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力，歸納各種因素來確定選用何種凈化計劃，這樣才可規劃出一個能滿意甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的計劃。

　　1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

　　這是一個最傳統的凈化空調體系的規劃計劃。組合式空氣處理機組里含有各種功用段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中心段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

　　長處：

　　A.空氣處理作用好，因空氣通過會集處理，在送風進程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的操控比較準確;

　　B.比較適用于有會集冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調冷熱源可與廠房普通空調體系合用或獨立冷熱源;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需求有放置組合式空氣處理機組的空調機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。關于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30m的機房的;

　　B.造價高。

　　特色：

　　A.主張新風通過會集處理后再與回風混合，這樣能夠減少表冷段的冷處理負擔;

　　C.這類計劃一般能夠適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學微電子職業凈化工程規劃計劃剖析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

　　與前種計劃比較，這是相對比較簡單的空調計劃。它能夠大大地縮小機房的面積，水冷柜機能夠依據詳細的情況安置于較小機房內或凈化車間內，增壓風柜也能夠安置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

　　長處：

　　A.空氣處理作用較好的，處理往后的空氣在送風進程中被污染程度低。送風的溫度、濕度操控作用能夠到達較好的操控。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行操控;

　　B.安置靈敏。自帶冷源;

　　C.巨細廠房、新舊廠房都適用;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求小面積的機房。需求有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調機組與空調處理機組要會集安置;

　　C.造價較低。特色：這種計劃能夠是一次回風也能夠是二次回風，詳細依據車間的巨細情況而定;這類計劃一般能夠適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

　　3、光學微電子職業凈化工程規劃計劃剖析之分體空調柜機++FFU送風口

　　這是最簡易的一個空調計劃。是直接將分體空調柜機安置于車間內，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻安置于吊頂天花。這個計劃適用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　長處：

　　A.不需求占用機房面積，安置很靈敏的;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.造價最低。如此類無塵車間初出資約需求40萬;

　　D.送風均勻度好。

　　缺陷：

　　A.溫濕度操控較差;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.FFU的修理頻率高。

　　4、光學微電子職業凈化工程規劃計劃剖析之無塵車間的特色

　　A、無塵車間的潔凈度:

　　LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

　　在本規劃里是指結尾工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、拼裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。

　　B、室內空氣參數要求 ：

　　(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

　　(2)新風量大。由于這類車間內，人員比較多，能夠依據以下數值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和堅持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。

　　(3)送風量大。為了滿意潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數，是≥15次/h)。

　　光學微電子職業凈化工程規劃計劃剖析關于慣例電子廠房潔凈室空調的規劃，應依據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調規劃計劃，以滿意生產工藝的要求作為條件。依據以往經歷，關于要求高的能夠選用組合式空氣處理機組會集處理的空調計劃;關于要求不高的，又要初出資低的，能夠選用柜機+FFU。總歸，詳細的計劃選擇依據詳細情況而定。