6．1 一般規定

6．1．1 潔凈室氣體系統施工包含工作壓力一般不高于1MPa潔凈的和高純的永久氣體、特種氣體、醫用氣體、可燃氣體、惰性氣體輸送管道以及真空吸引管道等的施工與驗收。

6．2 管材及附件

6．2．1 氣體系統管道材質及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質相適應，并應符合下列規定：
1 應使用無縫管材。
2 管材內表面吸附、解吸氣體的作用小。
3 管材內表面應光滑、耐磨損。
4 應具有良好的抗腐蝕性能。
5 管材金屬組織在焊接處理時不應發生變化。
6 負壓管道不宜采用普通碳鋼管。

6．2．2 所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。

6．2．3 成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。

6．2．4 氧氣閥門必須采用專用產品，其密封圈應采用有色金屬、聚四氟乙烯等材質。填料應采用經脫脂處理的聚四氟乙烯。

6．2．5 采用銅材的高純氣體管路，可用不銹鋼材質的附件，但在不銹鋼材質的管路中，不應采用銅質的附件。

6．3 管道系統安裝

6．3．1 管道安裝前應進行以下準備工作：
1 配管下料時應采用“等離子切割”或專用切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧—乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。
2 管道切口應與管軸線垂直，切口表面應平整、無裂紋，應去除毛刺。 
3 在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。
4 普通不銹鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。
5 氧氣管道及附件，安裝前應按相關規定方法進行脫脂，脫脂應在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環境保護工作。

6．3．2 管道敷設應符合設計要求，設計無要求時，應敷設在人員不易碰撞的高度上，否則應有防護設施。輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設；真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0．3％，坡向真空泵站或冷凝水收集器。

6．3．3 不銹鋼管道應按現行國家標準《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范》GB 50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時管內應充氬氣保護，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。

6．3．4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導電跨線。

6．3．5 穿過圍護結構進入潔凈室的氣體管道，應設套管，套管內管材不應有焊縫與接頭，管材與套管間應用不燃材料填充并密封，套管兩端應有不銹鋼盤型封蓋。

6．3．6 高純氣體管道的安裝，除應符合以上有關條款規定外，還應符合下列規定：
1 經脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應采取保護措施，防止二次污染。
2 管道預制、分段組裝作業，不得在露天環境中進行。
3 分段預制或組裝的管段完成后兩端應用膜、板等封閉。
4 高純氣體管道為無縫銅管時，應采用承插式硬釬焊焊接。
焊接紫銅管時應按現行國家標準《磷銅釬料》GB／T 6418要求選用磷銅釬料；焊接紫銅與黃銅管時宜按現行國家標準《銀基釬料》GB10046要求，選用HL304含銀量為50％的銀基釬料。管內應通入與工藝氣體同等純度的氮氣作為保護氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。
5 高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時，官在銅與銅、銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。
6 不銹鋼管、銅管應冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑；管壁不得起皺。
7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時，應采用自動或半自動熱焊機焊接連接。兩管對接面錯邊不應大于1mm。
不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時應采取保護環境和人員安全的措施。
8 管道系統支架間距應小于普通氣體管道的支架間距，并應采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應按現行國家標準《工業金屬管道工程施工及驗收規范》GB 50235的要求，在不銹鋼管與鋼
支架之間墊入不銹鋼或氯離子含量不超過50×10-6(50ppm)的非金屬墊層。
9 潔凈室內高純氣體與高干燥度氣體管道應為無坡度敷設，不考慮排水功能，終端應設放氣管。

6．3．7 醫用氣體管道安裝后應加色標。不同氣體管道上的接口應專用，不得通用。

6．4 管道系統的強度試驗

6．4．1 可燃氣體和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應逐個進行強度和嚴密性試驗。管路系統安裝完畢后應對系統進行強度試驗。強度試驗應采用氣壓試驗，并應采取嚴格的安全措施，不得采用水壓試驗。當管道的設計壓力大于0．6MPa時，應按設計文件規定進行氣壓試驗。

6．4．2 氣壓試驗應采用潔凈度與潔凈室等級匹配的惰性氣體或壓縮空氣進行，試驗壓力為設計壓力的1．15倍。
試驗時應逐步緩慢增加壓力，當壓力升至試驗壓力50％時，如未發現異常與泄漏，繼續按試驗壓力的10％逐級升壓，每級穩壓3min，直至試驗壓力。穩壓10min后，再將壓力降至設計壓力，停壓時間以查漏工作的需要而定，以發泡劑檢驗無泄漏為合格。

6．4．3 真空管道的氣壓試驗壓力應為0．2MPa。

6．4．4 當管道輸送的介質為有毒氣體、腐蝕性氣體、可燃氣體時，應進行最高工作壓力下的泄漏試驗。對管段之間焊接接頭、管路的分支接頭、閥門的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調節閥、放空閥、排氣閥等，應以發泡劑檢驗不泄漏為合格。
經過氣壓試驗合格的系統，試驗后未經拆卸，該管路系統可不再進行泄漏試驗。

6．4．5 真空管道在強度試驗與泄漏試驗合格后，應在系統聯動運轉前，以設計壓力進行真空度試驗。試驗宜在氣溫變化較小的環境中進行，試驗時間應為24h，增壓率不應大于3％。

6．5 管道系統的吹除

6．5．1 氣體管道各項試驗合格后，應使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內污物，吹除氣流流速應大于20m／s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。

6．5．2 管道吹除合格后，應再以實際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統進行吹除，應無異常聲音和振動為合格。輸送可燃氣體的管道在啟用之前，應用惰性氣體將管內原有氣體置換。

6．6 氣體供給裝置

6．6．1 瓶裝氣體供給裝置應安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應加套管，并應在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。

6．6．2 裝置出口管道上的安全閥在安裝前應進行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應符合安全閥性能要求。

6．6．3 集中式真空吸引裝置應安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時應采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應小于5倍管外徑，過濾清除設施應安在排氣口。

6．7 分項驗收

6．7．1 氣體系統分項驗收應首先檢查以下各項：
1 各種成品應有產品合格證，材料應有質量證明文件。
2 實際使用的管道材料和規格應符合設計要求。
3 系統安裝應完整、正確，連接應可靠。除樓層或區域總管與所安裝系統的供氣閥門(或供氣管)不連接外，其他管路、閥門和附件都應安裝連接完畢。
4 不同系統的管道應有明顯的識別標志，需裝拆、檢修、維護的地方必須有識別標志，每個支、吊架附近也應有識別標志。

6．7．2 氣體系統的分項驗收應包括以下主控項目：
1 所有氣體管道都應進行氣密檢查，檢查用壓力表精度等級不應低于1．5級，指示壓力應在表量程1／3～2／3之間。
檢驗方法：檢查記錄。
檢驗數量：全部系統管道。
2 高純氣體管道安裝完畢應徹底吹除，并對排氣潔凈度、干燥度和輸送氣體純度進行檢查。
試驗介質為管道實際輸送的氣體或氮氣。試驗介質的潔凈度以微粒數衡量，干燥度以水痕量濃度衡量，純度以氧、二氧化碳痕量濃度衡量。 
檢驗方法：檢查有資質的檢驗單位的檢驗報告。
檢驗數量：全部檢驗報告。
3 按設計要求做管材樣板檢查的，管材軸向剖面長度不應小于60mm。
檢驗方法：檢查記錄和樣板。
檢驗數量：抽查30％。
4 對輸送壓力大于等于0．5MPa的可燃氣體、有毒氣體的管道焊接處應進行抽樣射線照相檢查，并應符合設計的焊縫等級要求。
檢驗方法：X射線無破損檢測。
檢驗數量：全部。
5 氣體管道應在氣密性檢驗合格后進行泄漏率檢查，以設計壓力保持24h后泄漏率不超過0．5％為合格。允許堵漏后再試驗。 
泄漏率按下式計算：